مواصفة
الهدف الأنبوبي من التيتانيوم هو شكل أسطواني من مادة التيتانيوم المستخدمة بشكل أساسي في عمليات الرش وترسيب الأغشية الرقيقة. على غرار أهداف لوحة التيتانيوم، فهي بمثابة هدف لترسيب أفلام التيتانيوم على ركائز مختلفة، ولكن شكلها الأنبوبي يجعلها مناسبة لتطبيقات محددة حيث تكون الأهداف الأسطوانية مطلوبة من أجل رش أو طلاء أكثر كفاءة.
Titanium Tube Target عبارة عن أسطوانة أو أنبوب مجوف من التيتانيوم عالي النقاء{{0}، تم تصميمه ليكون بمثابة مادة مصدر مستهلكة في شكل متخصص من رش المغنطرون، وهي عملية ترسيب فيزيائي للبخار (PVD). وتتمثل وظيفتها في التآكل بشكل موحد عن طريق القصف الأيوني بحيث يمكن لذراتها أن تشكل طبقة رقيقة ومتسقة على الركيزة.
مواصفة
الدرجات المشتركة
التيتانيوم النقي تجاريًا (ASTM B338 Gr1 أو Gr2)، تيتانيوم-6ألومنيوم-4فاناديوم (ASTM B338 Gr5 / Ti-6Al-4V).
نقاء
بالنسبة لـ Gr1/Gr2، يكون محتوى التيتانيوم عادة أكبر من أو يساوي 99.5%. بالنسبة للسبائك، يتوافق التركيب مع معايير ASTM.
التحكم في الشوائب
رقابة صارمة على العناصر الخلالية مثل الأكسجين (O)، والنيتروجين (N)، والكربون (C)، والهيدروجين (H) لضمان الأداء.
الأبعاد المادية والتسامح
القطر الخارجي (OD)
نطاق مشترك قابل للتخصيص من 50 مم إلى 200 مم.
القطر الداخلي (معرف)
يتم تحديده بواسطة OD وسمك الجدار.
سمك الجدار
عادة ما بين 3 مم و15 مم، حسب التطبيق والقطر.
طول
أطوال قياسية قابلة للتخصيص تصل إلى 3000 مم.
التسامح الأبعاد
| التسامح التطوير التنظيمي | ± 0.5 ملم |
| التسامح مع سمك الجدار | ±5% إلى ±10% |
| استقامة | < 1.0 mm per meter |
| عمودي وجوه النهاية | محدد على النحو المطلوب. |
الخصائص المعدنية والميكانيكية
كثافة
أكبر من أو يساوي 98.5% من الكثافة النظرية.
البنية المجهرية
حبيبات دقيقة-وموحدة وخالية من العيوب مثل المسامية والشقوق والشوائب.
حجم الحبوب
عادة ASTM 6.0 أو أدق.
جودة السطح
جودة السطح
الانتهاء من السطح
يتم تشكيله على سطح أملس، وعادةً ما تكون خشونته (Ra) أقل من أو تساوي 1.6 ميكرومتر أو أفضل.
حالة
نظيفة وجافة وخالية من الزيوت والشحوم والأكاسيد والملوثات الأخرى. غالبًا ما يتم تزويده بطبقة واقية أو معبأ بتفريغ الهواء-.
عملية التصنيع
يتم تصنيعها من قضبان مطروقة أو ملفوفة على الساخن-، تليها تصنيع آلي دقيق وحفر وشحذ لتحقيق الأبعاد النهائية وتشطيب السطح.
صلب بالكامل لتخفيف الضغوط الداخلية.
الميزة الرئيسية
الاستفادة العالية من المواد:المحرك الاقتصادي الرئيسي. يتم استخدام المزيد من التيتانيوم الباهظ الثمن قبل استبدال الهدف.
عمر تشغيلي أطول:تقليل وقت التوقف عن العمل للتغييرات المستهدفة.
معدل ترسيب وبلازما أكثر استقرارًا:يؤدي إلى جودة فيلم أكثر اتساقًا على مدار فترات الإنتاج الطويلة.
أفضل لتطبيقات الطاقة-العالية:يسهل الشكل الأسطواني والدوران عملية تبريد أكثر فعالية.
طلب
أهداف أنبوب التيتانيوم يتم تفضيلها في الصناعات التي تتطلب طلاءًا عالي الحجم وموحدًا وفعالاً من حيث التكلفة-.
الزجاج المعماري وزجاج السيارات:ترسيب التيتانيوم كطبقة التصاق لطبقات الفضة أو النتريد اللاحقة في زجاج فعال للطاقة-منخفض-E (منخفض-انبعاثية).
الإلكترونيات المرنة والتغليف:طلاء شبكات البوليمر للخلايا الشمسية، والأغشية الموصلة الشفافة، وعبوات المواد الغذائية/الطبية ذات العوائق العالية.
طلاء الويب:الطلاء المستمر لفات المواد للأغراض الزخرفية أو الوظيفية أو البصرية.
شاشات عرض مسطحة كبيرة الحجم-:للطلاء على أجهزة التلفاز، والشاشات، ولوحات شاشات اللمس.
الأدوات الصناعية:تطبيق طبقات -من نيتريد التيتانيوم (TiN) المقاومة للتآكل على مجموعات من الأدوات أو المكونات.
الوسم : هدف أنبوب التيتانيوم، الصين مصنعي هدف أنبوب التيتانيوم، الموردين، المصنع, هدف دائري من التيتانيوم, هدف من صفيحة التيتانيوم, هدف من التيتانيوم, هدف أنبوب التيتانيوم
